大流量氢气质量流量计适用于其他气体流量测量，具有安装简单，极易维修，带有防爆功能，使用安全。
产品参数：
量程范围：2SCCM～3000SLM
准确度：±0.5%F.S
线性：±0.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S
响应时间：流量计：＜0.1s 流量控制器：<0.2s
数字量：RS232/485，MODBUS协议
模拟量：0～5V、4-20mA、1～5V
供电：±15VDC，24VDC
工作温度：0～50℃
工作压力：工作压降：<0.01Mpa(流量计）
工作压差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐压：3MPa/10MPa
漏率：1×10-9SCCSHe
温度系数：±0.025%F.S/℃
底座材质：不锈钢
密封材质：氟橡胶，氯丁橡胶
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