动态视频级的超分辨显微——lyncee dhm
纵向亚纳米精度,视频级成像速率,表征样品实时动态响应
系统
dhm型号
t1000
t2100
激光光源数量
1
2
工作波长 (± 1.0 nm)
666 nm
666 nm, 794 nm
激光波长稳定性
0.01 nm/°c at 666 nm
样品台
手动或电动 xyz 三轴样品台,最大移动范围 114 mm x 76 mm x 38 mm
物镜
放大倍数 1.25x 至 100x,可选标准物镜、高na值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等
物镜台
6口旋转物镜台
电脑
dell最新工作站,intel® 多核处理器,高性能显卡
针对dhm® 优化配置,最小21寸显示器
专用软件
koala专用数据采集分析软件,基于c++ 和 .net
附加专用分析软件供不同应用分析(mems analysis tool,cell analysis tool,reflectometry analysis)
数据格式
多种保存格式,数据格式包括.bin格式和.txt格式
图像格式包括.tif格式和.txt矩阵格式
性能
测量模式
单激光波长 666 nm
双激光合成波长 8 μm 4
可用该测量模式的dhm型号
t1000, t2100
t2100
测量精度1 [nm]
1.0 4
1.0 / 5.04 *
纵向分辨率2 [nm]
2.04
2.0 / 10.04 *
测量可重复性3 [nm]
0.024
0.02 / 0.054 *
动态可测纵向范围
最大 500 μm 4
最大 500 μm 4
最大可测台阶高度6
最大 1.0 μm 4
最大 3.5 μm 5
最大 7.0 μm 4
最大 22 μm 5
垂直校准
由干涉滤光片决定,范围
±0.1 nm
图像采集时间
标准 500 μs (最快可选 10 μs)
图像采集速率
标准 30 帧/秒 1024 x
1024 像素 (最快可选 1000 帧/秒)
实时重建速率
标准 25 帧/秒 1024 x
1024 像素 (最快可选 100 帧/秒 )
横向分辨率
由所选物镜决定,最大 300 nm **
视场
由所选物镜决定,范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm **
工作距
由所选物镜决定,范围从 0.3 to 18 mm **
数码聚焦范围
最高 50倍于景深 (由所选物镜决定)
样品照明
最低 1 μw/cm2
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