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真空设备或者零部件对油污染的要求，若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何，如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵如水环式真空泵，或者把油蒸气排到室外。
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首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等；如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等；如抽取气体还有腐蚀性，则须选用材质；若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机，因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何，如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵如水环式真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空设备或者零部件对油污染的要求，若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
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