1.测量温度：室温---600°c ;
2.控温精度：±1℃
3.显示精度：±0.1℃
4.升温斜率：1-5°c/min
5.测量精度：0.05%
6.电阻率：10-5 ～105 ω.cm
7.电导率：10-5 ～105 s/cm
8.方块电阻：10-4 ～106 ω/□
9.电阻：10-5 ～105 ω
10.探针间距：2±0.01mm
11.探针压力：0~2kg可调
12.针间绝缘电阻：≥1000mω
13.真空腔体漏率标准要小于10-9 pa?m3/s
14.样品：直径15~30mm，厚度小于4mm
15.设备尺寸：680mmx450mmx400mm